חומרים עיקריים המשמשים במטרות התזה עבור ציפויי שכבה דקה

תהליך ההתזה מאדה חומר מקור, הנקרא מטרה, כדי להפקיד שכבה דקה ובעלת ביצועים גבוהים על מוצרים כמו מוליכים למחצה, זכוכית וצגים. הרכב המטרה מגדיר ישירות את תכונות הציפוי, מה שהופך את בחירת החומר לקריטית.

מגוון רחב של מתכות משמשות, כל אחת נבחרת בשל יתרונות פונקציונליים ספציפיים:

מתכות יסוד לאלקטרוניקה ושכבות ביניים

נחושת טהורה במיוחד מוערכת בזכות המוליכות החשמלית יוצאת הדופן שלה. מטרות של נחושת טהורה בריכוז 99.9995% חיוניות ליצירת החיווט המיקרוסקופי (חיבורים) בתוך שבבים מתקדמים, שבהם התנגדות חשמלית מינימלית היא בעלת חשיבות עליונה למהירות ויעילות.

ניקל טוהר גבוה משמש כסוס עבודה רב-תכליתי. הוא משמש בעיקר כשכבת הידבקות מצוינת ומחסום דיפוזיה אמין, המונעת ערבוב של חומרים שונים ומבטיחה את שלמותם המבנית ואורך החיים של התקנים רב-שכבתיים.

מתכות עקשנות כמו טונגסטן (W) ומוליבדן (Mo) מוערכות בזכות עמידותן הגבוהה בחום ויציבותן, ומשמשות לעתים קרובות כמחסומי דיפוזיה חזקים ולמגעים בסביבות תובעניות.

מתכות פונקציונליות מיוחדות

כסף בעל טוהר גבוה מציע את המוליכות החשמלית והתרמית הגבוהה ביותר מכל מתכת אחרת. זה הופך אותו לאידיאלי להנחת אלקטרודות שקופות ומוליכות במיוחד במסכי מגע וציפויים מחזירי אור מבריקים ובעלי פליטה נמוכה על חלונות חוסכי אנרגיה.

מתכות יקרות כמו זהב (Au) ופלטינה (Pt) משמשות למגעים חשמליים אמינים ביותר ועמידים בפני קורוזיה ובחיישנים ייעודיים.

מתכות מעבר כמו טיטניום (Ti) וטנטלום (Ta) הן קריטיות בזכות תכונות ההידבקות והמחסום המצוינות שלהן, ולעתים קרובות יוצרות את שכבת היסוד על גבי מצע לפני יישום חומרים אחרים.

בעוד שערכת כלים מגוונת זו של חומרים מאפשרת טכנולוגיה מודרנית, ביצועי הנחושת למוליכות, ניקל לאמינות וכסף להחזרה מעולה נותרים ללא תחרות ביישומים שלהם. האיכות העקבית של מתכות אלו בעלות טוהר גבוה היא הבסיס לציפויי שכבה דקה בעלי ביצועים גבוהים.